Εναπόθεση διασκορπισμού μαγνητρονίου σε πεδίο λειτουργικού φιλμ
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Τύπος Υλικού |
| Λειτουργική ταινία | Υπερσκληρή ταινία | TiN, TiC |
|
Αδιάβροχη μεμβράνη |
Cr, AlSi, AlTi, κ.λπ | |
| Αντιστασιακή ταινία | NiCrSi, CrSi, MoTa, κ.λπ | |
| Υπεραγώγιμη ταινία | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| Μαγνητικό φιλμ | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, κ.λπ |
Αρχή λειτουργίας
Υπάρχουν πολλά είδη sputtering magnetron με διαφορετικές αρχές λειτουργίας και αντικείμενα εφαρμογής.Αλλά εκεί
είναι ένα κοινό πράγμα: κάνει τα ηλεκτρόνια να τρέχουν σε σπειροειδείς διαδρομές κοντά στην επιφάνεια στόχο μέσω αλληλεπίδρασης μεταξύ τους
μαγνητικά και ηλεκτρικά πεδία, αυξάνοντας έτσι την πιθανότητα δημιουργίας ιόντων που προέρχονται από ηλεκτρόνια που χτυπούν αργό.
Τα παραγόμενα ιόντα στη συνέχεια χτυπούν την επιφάνεια στόχου υπό τη δράση του ηλεκτρικού πεδίου και διασκορπίζουν τα υλικά-στόχους.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | MSC-FF-X—X |
| Τύπος επίστρωσης | Διάφορα διηλεκτρικά φιλμ όπως μεταλλική μεμβράνη, οξείδιο μετάλλου και AIN |
| Εύρος θερμοκρασίας επίστρωσης | Κανονική θερμοκρασία στους 500℃ |
| Μέγεθος θαλάμου κενού επικάλυψης | 700mm*750mm*700mm (Προσαρμόσιμο) |
| Κενό φόντου | < 5×10-7mbar |
| Πάχος επίστρωσης | ≥ 10 nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ≤ ±3% |
| Μέγιστο μέγεθος επίστρωσης | ≥ 100mm (Προσαρμόσιμο) |
| Ομοιομορφία πάχους φιλμ | ≤ ±0,5% |
| Φορέας υποστρώματος | Με μηχανισμό περιστροφής πλανητών |
| Υλικό στόχου | 4×4 ίντσες (συμβατό με 4 ίντσες και κάτω) |
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Τα τροφοδοτικά όπως DC, παλμικό, RF, IF και bias είναι προαιρετικά |
| Αέριο διεργασίας | Αρ, Ν2, Ο2 |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγμα επικάλυψης
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για την επίστρωση στον θάλαμο κενού.
→ Χονδρική σκούπα.
→ Ενεργοποιήστε τη μοριακή αντλία, σκουπίστε με ηλεκτρική σκούπαστην τελική ταχύτητα και μετά ενεργοποιήστε την περιστροφή και την περιστροφή.
→ Θέρμανση του θαλάμου κενού έως ότου η θερμοκρασία φτάσει τοστόχος;
→ Εφαρμόστε τον έλεγχο σταθερής θερμοκρασίας.
→ Καθαρά στοιχεία.
→ Περιστροφή και επιστροφή στην αρχή.
→ Μεμβράνη επίστρωσης σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας.
→ Χαμηλώστε τη θερμοκρασία και σταματήστε τη διάταξη της αντλίας μετά την επίστρωση.
→ Σταματήστε να εργάζεστε ότανη αυτόματη λειτουργία έχει ολοκληρωθεί.
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των Διπλωμάτων Ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
