Εναπόθεση διασκορπισμού μαγνητρονίων στη βιομηχανία ημιαγωγών
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Τύπος Υλικού |
| Ημιαγωγός | IC, ηλεκτρόδιο LSI, φιλμ καλωδίωσης | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| Ηλεκτρόδιο μνήμης VLSI | Mo, W, Ti | |
| Φιλμ φραγμού διάχυσης | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| Αυτοκόλλητη μεμβράνη | PZT(Pb-ZrO2-Ti), Ti, W |
Αρχή λειτουργίας
Αρχή εκτόξευσης μαγνητρονίων: υπό τη δράση ηλεκτρικού πεδίου, τα ηλεκτρόνια συγκρούονται με άτομα αργού στη διαδικασία
πετώντας προς το υπόστρωμα με υψηλή ταχύτητα, ιονίζοντας άφθονα ιόντα αργού και ηλεκτρόνια, και στη συνέχεια τα ηλεκτρόνια πετούν στο
υπόστρωμα.Τα ιόντα αργού βομβαρδίζουν τον στόχο με υψηλή ταχύτητα υπό τη δράση ηλεκτρικού πεδίου, εκτοξεύοντας πολλούς στόχους
άτομα, στη συνέχεια τα ουδέτερα άτομα-στόχοι (ή μόρια) εναποτίθενται στο υπόστρωμα για να σχηματίσουν φιλμ.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | MSC-SEM-X—X |
| Τύπος επίστρωσης | Διάφορα διηλεκτρικά φιλμ όπως μεταλλική μεμβράνη, οξείδιο μετάλλου και AIN |
| Εύρος θερμοκρασίας επίστρωσης | Κανονική θερμοκρασία στους 500℃ |
| Μέγεθος θαλάμου κενού επικάλυψης | 700mm*750mm*700mm (Προσαρμόσιμο) |
| Κενό φόντου | < 5×10-7mbar |
| Πάχος επίστρωσης | ≥ 10 nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ≤ ±3% |
| Μέγιστο μέγεθος επίστρωσης | ≥ 100mm (Προσαρμόσιμο) |
| Ομοιομορφία πάχους φιλμ | ≤ ±0,5% |
| Φορέας υποστρώματος | Με μηχανισμό περιστροφής πλανητών |
| Υλικό στόχου | 4×4 ίντσες (συμβατό με 4 ίντσες και κάτω) |
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Τα τροφοδοτικά όπως DC, παλμικό, RF, IF και bias είναι προαιρετικά |
| Αέριο διεργασίας | Αρ, Ν2, Ο2 |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγμα επικάλυψης
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για την επίστρωση στον θάλαμο κενού.
→ Χονδρική σκούπα.
→ Ενεργοποιήστε τη μοριακή αντλία, σκουπίστε με ηλεκτρική σκούπα στην τελική ταχύτητα και μετά ενεργοποιήστε την περιστροφή και την περιστροφή.
→ Θέρμανση του θαλάμου κενού έως ότου η θερμοκρασία φτάσει στον στόχο.
→ Εφαρμόστε τον έλεγχο σταθερής θερμοκρασίας.
→ Καθαρά στοιχεία.
→ Περιστροφή και επιστροφή στην αρχή.
→ Μεμβράνη επίστρωσης σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας.
→ Χαμηλώστε τη θερμοκρασία και σταματήστε τη διάταξη της αντλίας μετά την επίστρωση.
→ Σταματήστε την εργασία όταν ολοκληρωθεί η αυτόματη λειτουργία.
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των Διπλωμάτων Ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
