Magnetron απόθεση επιμετάλλωσης στον τομέα επιστρώματος αντι-αποχρωματισμού
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Υλικός τύπος |
| Επίστρωμα αντι-αποχρωματισμού | Anti-oxidation πολύτιμων μετάλλων επίστρωμα | Al2Ο3, TiO2 |
Αρχή εργασίας
Τα ηλεκτρόνια συγκρούονται συνεχώς με τα άτομα αργού στη διαδικασία κινήσεων, ιονίζοντας έναν μεγάλο αριθμό ιόντων αργού
βομβαρδίστε το στόχο. Μετά από τις πολλαπλάσιες συγκρούσεις, η ενέργεια των ηλεκτρονίων μειώνεται βαθμιαία. Σπάσιμο ηλεκτρονίων μακριά
από τον περιορισμό της μαγνητικής γραμμής δύναμης, κρατήστε μακρυά από το στόχο, και τελικά την κατάθεση στο υπόστρωμα.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα
| Πρότυπο | Msc-ΠΑΧ-Χ |
| Τύπος επιστρώματος | Διάφορες διηλεκτρικές ταινίες όπως η ταινία μετάλλων, το μεταλλικό οξείδιο και AIN |
| Σειρά θερμοκρασίας επιστρώματος | Κανονική θερμοκρασία σε 500℃ |
| Κενό μέγεθος αιθουσών επιστρώματος | 700mm*750mm*700mm (εξατομικεύσιμος) |
| Κενό υποβάθρου | < 5="">-7mbar |
| Πάχος επιστρώματος | ≥ 10nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ≤ ±3% |
| Μέγιστο μέγεθος επιστρώματος | ≥ 100mm (εξατομικεύσιμο) |
| Ομοιομορφία πάχους ταινιών | ≤ ±0.5% |
| Μεταφορέας υποστρωμάτων | Με τον πλανητικό μηχανισμό περιστροφής |
| Υλικό στόχων | 4×4 ίντσες (συμβατές με 4 ίντσες και κατωτέρω) |
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Οι παροχές ηλεκτρικού ρεύματος όπως το συνεχές ρεύμα, σφυγμός, RF, ΕΆΝ και προκατειλημμένος είναι προαιρετικός |
| Αέριο διαδικασίας | AR, Ν2, Ο2 |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγμα επιστρώματος
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για το επίστρωμα στην κενή αίθουσα
→ Κατά προσέγγιση
→ Ανοίξτε τη μοριακή αντλία, με τη τοπ ταχύτητα, κατόπιν ανοίξτε την επανάσταση και την περιστροφή
→ Η θέρμανση της κενής αίθουσας μέχρι τη θερμοκρασία φθάνει στο στόχο
→ Εφαρμόστε το σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας
→ Καθαρά στοιχεία
→ Περιστραφείτε και πίσω στην προέλευση
→ Ταινία επιστρώματος σύμφωνα με τις απαιτήσεις διαδικασίας
→ Η χαμηλότερη θερμοκρασία και σταματά τη συνέλευση αντλιών μετά από το επίστρωμα
→ Σταματήστε όταν τελειώνουν την αυτόματη λειτουργία.
Τα πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση μέσα σε 24 ώρες απασχόλησης.
Η πιστοποίηση του ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και προσόντα της Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
