Magnetron απόθεση επιμετάλλωσης στη βιομηχανία οπτικής
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Υλικός τύπος |
| Οπτική |
Οπτικές ταινίες όπως η ταινία αντιαντανάκλασης, |
SiO2, TiO2, TA2Ο5, ZrO2, HfO2 |
| Γυαλί χαμηλός-εκπομπής |
Πολλαπλάσια στρώματα του μετάλλου (ασήμι, χαλκός, κασσίτερος, κ.λπ.) |
|
| Διαφανές γυαλί διεύθυνσης | ZnO: Al, κ.λπ. |
Αρχή εργασίας
Τα χαρακτηριστικά γνωρίσματα magnetron της επιμετάλλωσης είναι υψηλό film-forming ποσοστό, χαμηλή θερμοκρασία υποστρωμάτων, καλή προσκόλληση ταινιών
και εφικτό επίστρωμα μεγάλης περιοχής. Αυτή η τεχνολογία μπορεί να διαιρεθεί σε ΣΥΝΕΧΕΣ magnetron magnetron επιμετάλλωσης και RF
επιμετάλλωση.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα
| Πρότυπο | Msc-ο-Χ |
| Τύπος επιστρώματος | Διάφορες διηλεκτρικές ταινίες όπως η ταινία μετάλλων, το μεταλλικό οξείδιο και AIN |
| Σειρά θερμοκρασίας επιστρώματος | Κανονική θερμοκρασία σε 500℃ |
| Κενό μέγεθος αιθουσών επιστρώματος | 700mm*750mm*700mm (εξατομικεύσιμος) |
| Κενό υποβάθρου | < 5="">-7mbar |
| Πάχος επιστρώματος | ≥ 10nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ≤ ±3% |
| Μέγιστο μέγεθος επιστρώματος | ≥ 100mm (εξατομικεύσιμο) |
| Ομοιομορφία πάχους ταινιών | ≤ ±0.5% |
| Μεταφορέας υποστρωμάτων | Με τον πλανητικό μηχανισμό περιστροφής |
| Υλικό στόχων | 4×4 ίντσες (συμβατές με 4 ίντσες και κατωτέρω) |
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Οι παροχές ηλεκτρικού ρεύματος όπως το συνεχές ρεύμα, σφυγμός, RF, ΕΆΝ και προκατειλημμένος είναι προαιρετικός |
| Αέριο διαδικασίας | AR, Ν2, Ο2 |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγμα επιστρώματος
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για το επίστρωμα στην κενή αίθουσα
→ Vacuumize η κενή αίθουσα στην υψηλή και χαμηλή θερμοκρασία, και περιστρέφεται το υπόστρωμα συγχρόνως
→ Επίστρωμα έναρξης: το υπόστρωμα έρχεται σε επαφή με με τον πρόδρομο στη σειρά και χωρίς ταυτόχρονη αντίδραση
→ Εκκαθάριση αυτό με το high-purity αέριο αζώτου μετά από κάθε αντίδραση
→ Σταματήστε το υπόστρωμα αφότου είναι το πάχος ταινιών μέχρι τα πρότυπα και η λειτουργία του εξαγνισμού και της ψύξης είναι
ολοκληρωμένος, πάρτε έπειτα έξω το υπόστρωμα αφότου ικανοποιούνται οι κενοί σπάζοντας όροι.
Τα πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση μέσα σε 24 ώρες απασχόλησης.
Η πιστοποίηση του ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και προσόντα της Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
