Magnetron απόθεση επιμετάλλωσης στο διακοσμητικό τομέα επιστρώματος
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Υλικός τύπος |
| Διακοσμητικό επίστρωμα | Χρωματισμένη ταινία, επιμεταλλωμένη ταινία | Al2Ο3, TiO2, καιόλαταείδηταινιώνμετάλλων |
Αρχή εργασίας
Magnetron η επιμετάλλωση πρόκειται να αυξήσει το ποσοστό επιμετάλλωσης με την εισαγωγή ενός μαγνητικού πεδίου στην επιφάνεια στόχων και τη χρησιμοποίηση
το μαγνητικό πεδίο για να περιορίσει τα χρεωμένα μόρια για να αυξήσει την πυκνότητα πλάσματος.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα
| Πρότυπο | Msc-ρεύμα-Χ |
| Τύπος επιστρώματος | Διάφορες διηλεκτρικές ταινίες όπως η ταινία μετάλλων, το μεταλλικό οξείδιο και AIN |
| Σειρά θερμοκρασίας επιστρώματος | Κανονική θερμοκρασία σε 500℃ |
| Κενό μέγεθος αιθουσών επιστρώματος | 700mm*750mm*700mm (εξατομικεύσιμος) |
| Κενό υποβάθρου | < 5="">-7mbar |
| Πάχος επιστρώματος | ≥ 10nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ≤ ±3% |
| Μέγιστο μέγεθος επιστρώματος | ≥ 100mm (εξατομικεύσιμο) |
| Ομοιομορφία πάχους ταινιών | ≤ ±0.5% |
| Μεταφορέας υποστρωμάτων | Με τον πλανητικό μηχανισμό περιστροφής |
| Υλικό στόχων | 4×4 ίντσες (συμβατές με 4 ίντσες και κατωτέρω) |
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Οι παροχές ηλεκτρικού ρεύματος όπως το συνεχές ρεύμα, σφυγμός, RF, ΕΆΝ και προκατειλημμένος είναι προαιρετικός |
| Αέριο διαδικασίας | AR, Ν2, Ο2 |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγμα επιστρώματος
Βήματα διαδικασίας
→Place το υπόστρωμα για το επίστρωμα στην κενή αίθουσα
→ Κατά προσέγγιση
→ Ανοίξτε τη μοριακή αντλία, με τη τοπ ταχύτητα, κατόπιν ανοίξτε την επανάσταση και την περιστροφή
→ Η θέρμανση της κενής αίθουσας μέχρι τη θερμοκρασία φθάνει στο στόχο
→ Εφαρμόστε το σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας
→ Καθαρά στοιχεία
→ Περιστραφείτε και πίσω στην προέλευση
→ Ταινία επιστρώματος σύμφωνα με τις απαιτήσεις διαδικασίας
→ Η χαμηλότερη θερμοκρασία και σταματά τη συνέλευση αντλιών μετά από το επίστρωμα
→ Σταματήστε όταν τελειώνουν την αυτόματη λειτουργία.
Τα πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση μέσα σε 24 ώρες απασχόλησης.
Η πιστοποίηση του ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και προσόντα της Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
