Εναπόθεση διασκορπισμού μαγνητρονίου στη βιομηχανία ιατρικής θεραπείας
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Τύπος Υλικού |
| Ιατρική περίθαλψη | Βιοσυμβατά υλικά | Ο Αλ2Ο3, TiO2 |
Αρχή λειτουργίας
Η βασική αρχή της εκτόξευσης μαγνητρονίων είναι ότι τα ηλεκτρόνια συγκρούονται με άτομα αργού κατά τη διαδικασία της πτήσης προς
ουπόστρωμα υπό τη δράση ηλεκτρικού πεδίου, τα παραγόμενα ιόντα αργού βομβαρδίζουν την επιφάνεια στόχο.Μετά την ενέργεια
ανταλλαγή,τα άτομα στην επιφάνεια στόχο διαφεύγουν από το αρχικό πλέγμακαι μεταφέρονται στο υπόστρωμα
επιφάνεια για να σχηματιστούν μεμβράνες.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | MSC-MT-X—X |
| Τύπος επίστρωσης | Διάφορα διηλεκτρικά φιλμ όπως μεταλλική μεμβράνη, οξείδιο μετάλλου και AIN |
| Εύρος θερμοκρασίας επίστρωσης | Κανονική θερμοκρασία στους 500℃ |
| Κενό επίστρωσηςθάλαμος siζε | 700mm * 750mm * 700mm (Προσαρμόσιμο) |
| Κενό φόντου | < 5×10-7mbar |
| Πάχος επίστρωσης | ≥ 10 nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ≤ ±3% |
| Μέγιστο μέγεθος επίστρωσης | ≥ 100mm (Προσαρμόσιμο) |
| Ομοιομορφία πάχους φιλμ | ≤ ±0,5% |
| Φορέας υποστρώματος | Με μηχανισμό περιστροφής πλανητών |
| Υλικό στόχου | 4×4 ίντσες (συμβατό με 4 ίντσες και κάτω) |
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Τα τροφοδοτικά όπως DC, παλμικό, RF, IF και bias είναι προαιρετικά |
| Αέριο διεργασίας | Αρ, Ν2, Ο2 |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγμα επικάλυψης
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για την επίστρωση στον θάλαμο κενού.
→ Χονδρική σκούπα.
→ Ενεργοποιήστε τη μοριακή αντλία, σκουπίστε με ηλεκτρική σκούπα στην τελική ταχύτητα και μετά ενεργοποιήστε την περιστροφή και την περιστροφή.
→ Θέρμανση του θαλάμου κενού έως ότου η θερμοκρασία φτάσει στον στόχο.
→ Εφαρμόστε τον έλεγχο σταθερής θερμοκρασίας.
→ Καθαρά στοιχεία.
→ Περιστροφή και επιστροφή στην αρχή.
→ Μεμβράνη επίστρωσης σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας.
→ Χαμηλώστε τη θερμοκρασία και σταματήστε τη διάταξη της αντλίας μετά την επίστρωση.
→ Σταματήστε την εργασία όταν ολοκληρωθεί η αυτόματη λειτουργία.
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των Διπλωμάτων Ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
