Εναπόθεση διασκορπισμού μαγνητρονίου στη βιομηχανία μπαταριών λεπτής μεμβράνης περοβσκίτη
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Τύπος Υλικού |
| Μπαταρία λεπτής μεμβράνης περοβσκίτη | Διαφανές αγώγιμο στρώμα | ZnO:Al |
Αρχή λειτουργίας
Η εκτόξευση μαγνητρονίων είναι να περιορίζει και να επεκτείνει τις διαδρομές κίνησης των ηλεκτρονίων με μαγνητικό πεδίο, αλλάζει την κίνηση
κατευθύνσεις ηλεκτρονίων, αυξάνουν τον ρυθμό ιονισμού του αερίου λειτουργίας και χρησιμοποιούν αποτελεσματικά την ενέργεια των ηλεκτρονίων.
Η εκτόξευση μαγνητρονίων έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά: γρήγορο ρυθμό εναπόθεσης, υψηλή απόδοση εναπόθεσης, κατάλληλο για
μεγάλης κλίμακας εφαρμογή στη βιομηχανική παραγωγή.χαμηλή θερμοκρασία υποστρώματος, κατάλληλο για την επίστρωση πλαστικών και
άλλα υποστρώματα ανθεκτικά στη θερμότητα.υψηλή καθαρότητα των παρασκευασμένων μεμβρανών, καλή συμπαγή, καλύτερη ομοιομορφία φιλμ και ισχυρή
συνοχή φιλμ-υποστρώματος.μπορούν να παρασκευαστούν μεμβράνες μετάλλου, κράματος, οξειδίου και άλλων.χωρίς ρύπανση.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | MSC-PFB-X—X |
| Τύπος επίστρωσης | Διάφορα διηλεκτρικά φιλμ όπως μεταλλική μεμβράνη, οξείδιο μετάλλου και AIN |
| Εύρος θερμοκρασίας επίστρωσης | Κανονική θερμοκρασία στους 500℃ |
| Μέγεθος θαλάμου κενού επικάλυψης | 700mm*750mm*700mm (Προσαρμόσιμο) |
| Κενό φόντου | < 5×10-7mbar |
| Πάχος επίστρωσης | ≥ 10 nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους |
≤ ±3% |
| Μέγιστο μέγεθος επίστρωσης | ≥ 100mm (Προσαρμόσιμο) |
| Ομοιομορφία πάχους φιλμ | ≤ ±0,5% |
| Φορέας υποστρώματος | Με μηχανισμό περιστροφής πλανητών |
| Υλικό στόχου | 4×4 ίντσες (συμβατό με 4 ίντσες και κάτω) |
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Τα τροφοδοτικά όπως DC, παλμικό, RF, IF και bias είναι προαιρετικά |
| Αέριο διεργασίας |
Αρ, Ν2, Ο2 |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγμα επικάλυψης
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για την επίστρωση στον θάλαμο κενού.
→ Χονδρική σκούπα.
→ Ενεργοποιήστε τη μοριακή αντλία, σκουπίστε με ηλεκτρική σκούπα στην τελική ταχύτητα και μετά ενεργοποιήστε την περιστροφή και την περιστροφή.
→ Θέρμανση του θαλάμου κενού έως ότου η θερμοκρασία φτάσει στον στόχο.
→ Εφαρμόστε τον έλεγχο σταθερής θερμοκρασίας.
→ Καθαρά στοιχεία.
→ Περιστροφή και επιστροφή στην αρχή.
→ Μεμβράνη επίστρωσης σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας.
→ Χαμηλώστε τη θερμοκρασία και σταματήστε τη διάταξη της αντλίας μετά την επίστρωση.
→ Σταματήστε την εργασία όταν ολοκληρωθεί η αυτόματη λειτουργία.
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των Διπλωμάτων Ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
