Εναπόθεση ατομικής στρώσης στο πεδίο διαχωριστικής μεμβράνης
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός |
| Διαχωριστική μεμβράνη |
Διήθηση |
| Διαχωρισμός αερίων |
Αρχή λειτουργίας
Η εναπόθεση ατομικής στιβάδας (ALD) έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα λόγω της χημειορόφησης κορεσμού επιφάνειας και
μηχανισμός αυτοπεριοριζόμενης αντίδρασης:
1. Ελέγξτε με ακρίβεια το πάχος του φιλμ ελέγχοντας τους αριθμούς του κύκλου.
2. Λόγω του μηχανισμού κορεσμού της επιφάνειας, δεν υπάρχει ανάγκη να ελέγχεται η ομοιομορφία της ροής του προδρόμου.
3. Μπορούν να δημιουργηθούν ομοιόμορφες μεμβράνες.
4. Εξαιρετική κάλυψη βημάτων με υψηλή αναλογία διαστάσεων.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | ALD-SM-X—X |
| Σύστημα φιλμ επίστρωσης | AL2Ο3,TiO2,ZnO, κλπ |
| Εύρος θερμοκρασίας επίστρωσης | Κανονική θερμοκρασία έως 500℃ (Προσαρμόσιμη) |
| Μέγεθος θαλάμου κενού επικάλυψης |
Εσωτερική διάμετρος: 1200mm, Ύψος: 500mm (Προσαρμόσιμο) |
| Δομή θαλάμου κενού | Σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη |
| Κενό φόντου | <5×10-7mbar |
| Πάχος επίστρωσης | ≥0,15 nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ±0,1 nm |
| Μέγεθος επίστρωσης | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², κ.λπ. |
| Ομοιομορφία πάχους φιλμ | ≤±0,5% |
| Πρόδρομο και φέρον αέριο |
Τριμεθυλαλουμίνιο, τετραχλωριούχο τιτάνιο, διαιθυλο ψευδάργυρος, καθαρό νερό, άζωτο κ.λπ. |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγματα Επικάλυψης
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για την επίστρωση στον θάλαμο κενού.
→ Αφαιρέστε τον θάλαμο κενού με ηλεκτρική σκούπα σε υψηλή και χαμηλή θερμοκρασία και περιστρέψτε το υπόστρωμα ταυτόχρονα.
→ Επίστρωση έναρξης: το υπόστρωμα έρχεται σε επαφή με τον πρόδρομο στη σειρά και χωρίς ταυτόχρονη αντίδραση.
→ Καθαρίστε το με αέριο άζωτο υψηλής καθαρότητας μετά από κάθε αντίδραση.
→ Σταματήστε την περιστροφή του υποστρώματος αφού το πάχος της μεμβράνης φτάσει στο πρότυπο και η λειτουργία καθαρισμού και ψύξης είναι
ολοκληρωθεί και, στη συνέχεια, αφαιρέστε το υπόστρωμα αφού πληρούνται οι συνθήκες θραύσης υπό κενό.
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
