Ατομική απόθεση στρώματος στη ενεργειακή βιομηχανία
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός |
| Ενέργεια | Κρυστάλλινα ηλιακά κύτταρα πυριτίου: στρώμα στρώματος παθητικότητας/απομονωτής/διαφανές ηλεκτρόδιο |
| Ουσία-ευαισθητοποιημένα κύτταρα: στρώμα εμποδίων επανασυνδυασμού φωτογραφία-ανόδων/δαπανών | |
| Κύτταρα καυσίμου: μεμβράνη/κάθοδος/ηλεκτρολύτης/καταλύτης ανταλλαγής πρωτονίων | |
| Ιονική μπαταρία λίθιου: άνοδος nanostructure/κάθοδος/τροποποιημένο ηλεκτρόδιο επίστρωμα | |
Θερμοηλεκτρικά υλικά | |
| Υλικό στρώμα προστασίας ηλεκτροδίων |
Αρχή εργασίας
Υπάρχουν τέσσερα βήματα στο στάδιο της ατομικής απόθεσης στρώματος:
1. Εγχύσετε το πρώτο αέριο προδρόμων στο υπόστρωμα για να έχετε μια αντίδραση προσρόφησης με την επιφάνεια υποστρωμάτων.
2. Ξεπλύντε το υπόλοιπο αέριο με το αδρανές αέριο.
3. Εγχύσετε το δεύτερο αέριο προδρόμων για να έχετε μια χημική αντίδραση με το πρώτο αέριο προδρόμων που προσροφάται στο υπόστρωμα
ταινία μορφής surfaceto.
4. Εγχύσετε το αδρανές αέριο για να ξεπλύνετε πάλι το υπερβολικό αέριο μακριά.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα
| Πρότυπο | Ald-ε-Χ |
| Σύστημα ταινιών επιστρώματος | Al2Ο3, TiO2, ZnO, κ.λπ. |
| Σειρά θερμοκρασίας επιστρώματος | Κανονική θερμοκρασία σε 500℃ (εξατομικεύσιμο) |
| Κενό μέγεθος αιθουσών επιστρώματος | Εσωτερική διάμετρος: 1200mm, ύψος: 500mm (εξατομικεύσιμος) |
| Κενή δομή αιθουσών | Σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη |
| Κενό υποβάθρου | <5>-7mbar |
| Πάχος επιστρώματος | ≥0.15nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ±0.1nm |
| Μέγεθος επιστρώματος | 200×200mm ²/400×400mm ²/1200×1200 χιλ. ², κ.λπ. |
| Ομοιομορφία πάχους ταινιών | ≤±0.5% |
| Αέριο προδρόμων και μεταφορέων | Trimethylaluminum, τετραχλωρίδιο τιτανίου, διεθυλικός ψευδάργυρος, καθαρό νερό, |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγματα επιστρώματος
Βήμα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για το επίστρωμα στην κενή αίθουσα
→ Vacuumize η κενή αίθουσα στην υψηλή και χαμηλή θερμοκρασία, και περιστρέφεται το υπόστρωμα συγχρόνως
→ Επίστρωμα έναρξης: το υπόστρωμα έρχεται σε επαφή με με τον πρόδρομο στη σειρά και χωρίς ταυτόχρονη αντίδραση
→ Εκκαθάριση αυτό με το high-purity αέριο αζώτου μετά από κάθε αντίδραση
→ Σταματήστε το υπόστρωμα αφότου είναι το πάχος ταινιών μέχρι τα πρότυπα και η λειτουργία του εξαγνισμού και της ψύξης είναι
ολοκληρωμένος, πάρτε έπειτα έξω το υπόστρωμα αφότου ικανοποιούνται οι κενοί σπάζοντας όροι.
Τα πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση μέσα σε 24 ώρες απασχόλησης.
Η πιστοποίηση του ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και προσόντα της Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
