Εναπόθεση ατομικού στρώματος σε Magnetic Head Industry
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός |
| Μαγνητική κεφαλή |
Μονωτικό διαχωριστικό στρώμα μη επίπεδης εναπόθεσης |
Αρχή λειτουργίας
Η τεχνολογία εναπόθεσης ατομικής στιβάδας είναι αυτή που κάνει τους πρόδρομους που θα εμπλέκονται στην αντίδραση να οδηγούνται στο
θάλαμο αντίδρασης διαδοχικά (ένας πρόδρομος κάθε φορά) μέσω διαφορετικών προδρομικών αγωγών.Μέσω κορεσμού
χημειορόφηση στην επιφάνεια του υποστρώματος, μόνο ένα στρώμα πρόδρομου προσροφάται κάθε φορά.Η περίσσεια πρόδρομων ουσιών
και τα υποπροϊόντα θα απομακρυνθούν με αδρανή αέρια Ar ή N2να επιτύχει τον αυτοπεριορισμό.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | ALD-MH-X—X |
| Σύστημα φιλμ επίστρωσης | AL2Ο3,TiO2,ZnO, κλπ |
| Εύρος θερμοκρασίας επίστρωσης | Κανονική θερμοκρασία έως 500℃ (Προσαρμόσιμη) |
| Μέγεθος θαλάμου κενού επικάλυψης |
Εσωτερική διάμετρος: 1200mm, Ύψος: 500mm (Προσαρμόσιμο) |
| Δομή θαλάμου κενού | Σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη |
| Κενό φόντου | <5×10-7mbar |
| Πάχος επίστρωσης | ≥0,15 nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ±0,1 nm |
| Μέγεθος επίστρωσης | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², κ.λπ. |
| Ομοιομορφία πάχους φιλμ | ≤±0,5% |
| Πρόδρομο και φέρον αέριο |
Τριμεθυλαλουμίνιο, τετραχλωριούχο τιτάνιο, διαιθυλο ψευδάργυρος, καθαρό νερό, άζωτο κ.λπ. |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγματα Επικάλυψης
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για την επίστρωση στον θάλαμο κενού.
→ Αφαιρέστε τον θάλαμο κενού με ηλεκτρική σκούπα σε υψηλή και χαμηλή θερμοκρασία και περιστρέψτε το υπόστρωμα ταυτόχρονα.
→ Επίστρωση έναρξης: το υπόστρωμα έρχεται σε επαφή με τον πρόδρομο στη σειρά και χωρίς ταυτόχρονη αντίδραση.
→ Καθαρίστε το με αέριο άζωτο υψηλής καθαρότητας μετά από κάθε αντίδραση.
→ Σταματήστε την περιστροφή του υποστρώματος αφού το πάχος της μεμβράνης φτάσει στο πρότυπο και η λειτουργία καθαρισμού και ψύξης είναι
ολοκληρωθεί, στη συνέχεια αφαιρέστε το υπόστρωμα αφού πληρούνται οι συνθήκες θραύσης υπό κενό.
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των Διπλωμάτων Ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
