Εναπόθεση ατομικού στρώματος στη βιολογική βιομηχανία ηλεκτρονικών συσκευασιών
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός |
|
Βιολογική ηλεκτρονική συσκευασία
|
Συσκευασία οργανικής διόδου εκπομπής φωτός (OLED) κ.λπ. |
Αρχή λειτουργίας
Το πλεονέκτημα της τεχνολογίας εναπόθεσης ατομικού στρώματος είναι ότι, επειδή η επιφανειακή αντίδραση της τεχνολογίας ALD είναι
αυτοπεριοριζόμενα, υλικά με το επιθυμητό ακριβές πάχος μπορούν να κατασκευαστούν επαναλαμβάνοντας συνεχώς αυτόν τον αυτοπεριορισμό.
Αυτή η τεχνολογία έχει καλή κάλυψη βημάτων και μεγάλη περιοχή πάχους ομοιομορφίας.Η συνεχής ανάπτυξη κάνει νανο
υλικά φιλμ χωρίς τρύπες και υψηλής πυκνότητας.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | ΑΛΔ-ΟΕΠ-Χ—Χ |
| Σύστημα φιλμ επίστρωσης | AL2Ο3,TiO2,ZnO, κλπ |
| Εύρος θερμοκρασίας επίστρωσης | Κανονική θερμοκρασία έως 500℃ (Προσαρμόσιμη) |
| Μέγεθος θαλάμου κενού επικάλυψης |
Εσωτερική διάμετρος: 1200mm, Ύψος: 500mm (Προσαρμόσιμο) |
| Δομή θαλάμου κενού | Σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη |
| Κενό φόντου | <5×10-7mbar |
| Πάχος επίστρωσης | ≥0,15 nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ±0,1 nm |
| Μέγεθος επίστρωσης | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², κ.λπ. |
| Ομοιομορφία πάχους φιλμ | ≤±0,5% |
| Πρόδρομο και φέρον αέριο |
Τριμεθυλαλουμίνιο, τετραχλωριούχο τιτάνιο, διαιθυλο ψευδάργυρος, καθαρό νερό, άζωτο κ.λπ. |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγματα Επικάλυψης
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για την επίστρωση στον θάλαμο κενού.
→ Αφαιρέστε τον θάλαμο κενού με ηλεκτρική σκούπα σε υψηλή και χαμηλή θερμοκρασία και περιστρέψτε το υπόστρωμα ταυτόχρονα.
→ Επίστρωση έναρξης: το υπόστρωμα έρχεται σε επαφή με τον πρόδρομο στη σειρά και χωρίς ταυτόχρονη αντίδραση.
→ Καθαρίστε το με αέριο άζωτο υψηλής καθαρότητας μετά από κάθε αντίδραση.
→ Σταματήστε την περιστροφή του υποστρώματος αφού το πάχος της μεμβράνης φτάσει στο πρότυπο και η λειτουργία καθαρισμού και ψύξης είναι
ολοκληρωθεί και, στη συνέχεια, αφαιρέστε το υπόστρωμα αφού πληρούνται οι συνθήκες θραύσης υπό κενό.
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
