Εναπόθεση ατομικού στρώματος στη βιομηχανία νανοδομών και προτύπων
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός |
| Νανοδομή και σχέδιο |
Νανοδομή υποβοηθούμενη από πρότυπο |
| Νανοδομή υποβοηθούμενη από καταλύτη | |
| Περιοχική εκλεκτική ALD για προετοιμασία νανομοτίβου |
Αρχή λειτουργίας
Η εναπόθεση ατομικής στιβάδας είναι μια μέθοδος σχηματισμού μεμβράνης κάνοντας εναλλάξ παλμούς των πρόδρομων ουσιών της αέριας φάσης
στον θάλαμο αντίδρασης και παράγοντας την αντίδραση χημειορόφησης αερίου-στερεάς φάσης στο εναποτιθέμενο υπόστρωμα
επιφάνεια.Όταν οι πρόδρομοιφτάσουν στην επιφάνεια του εναποτιθέμενου υποστρώματος, θα προσροφηθούν χημικά
την επιφάνεια και παράγουν τις επιφανειακές αντιδράσεις.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | ALD-NP-X—X |
| Σύστημα φιλμ επίστρωσης | AL2Ο3,TiO2,ZnO, κλπ |
| Εύρος θερμοκρασίας επίστρωσης | Κανονική θερμοκρασία έως 500℃ (Προσαρμόσιμη) |
| Μέγεθος θαλάμου κενού επικάλυψης |
Εσωτερική διάμετρος: 1200mm, Ύψος: 500mm (Προσαρμόσιμο) |
| Δομή θαλάμου κενού | Σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη |
| Κενό φόντου | <5×10-7mbar |
| Πάχος επίστρωσης | ≥0,15 nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ±0,1 nm |
| Μέγεθος επίστρωσης | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², κ.λπ. |
| Ομοιομορφία πάχους φιλμ | ≤±0,5% |
| Πρόδρομο και φέρον αέριο |
Τριμεθυλαλουμίνιο, τετραχλωριούχο τιτάνιο, διαιθυλο ψευδάργυρος, καθαρό νερό, |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγματα Επικάλυψης
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για την επίστρωση στον θάλαμο κενού.
→ Αφαιρέστε τον θάλαμο κενού με ηλεκτρική σκούπα σε υψηλή και χαμηλή θερμοκρασία και περιστρέψτε το υπόστρωμα ταυτόχρονα.
→ Επίστρωση έναρξης: το υπόστρωμα έρχεται σε επαφή με τον πρόδρομο στη σειρά και χωρίς ταυτόχρονη αντίδραση.
→ Καθαρίστε το με αέριο άζωτο υψηλής καθαρότητας μετά από κάθε αντίδραση.
→ Σταματήστε την περιστροφή του υποστρώματος αφού το πάχος της μεμβράνης φτάσει στο πρότυπο και η λειτουργία καθαρισμού και ψύξης είναι
ολοκληρωθεί, στη συνέχεια αφαιρέστε το υπόστρωμα αφού πληρούνται οι συνθήκες θραύσης υπό κενό.
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των Διπλωμάτων Ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
