Ανιχνευτής ελαττωμάτων επιφάνειας στη βιομηχανία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων
Εφαρμογές
Για τον έλεγχο της διαδικασίας και τη διαχείριση της απόδοσης της λευκής μάσκας στους τομείς της κατασκευής τσιπ ολοκληρωμένων κυκλωμάτων,
μπορούμε να βοηθήσουμε τους κατασκευαστές γυάλινων υποστρωμάτων και μασκών να εντοπίσουν και να παρακολουθήσουν τα ελαττώματα της μάσκας, μειώνοντας τον κίνδυνο
απόδοση και βελτίωση της ανεξάρτητης ικανότητας Ε&Α για βασικές τεχνολογίες.
Αρχή λειτουργίας
Τα ελαττώματα στην επιφάνεια της μάσκας μπορούν να εντοπιστούν αυτόματα από τρεις πτυχές: απόδοση συστήματος οπτικών,
απόδοση κάμερας και απόδοση πλατφόρμας κίνησης.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | SDD-ICC-X—X | |
|
Ανίχνευση απόδοσης |
Ανιχνεύσιμος τύπος ελαττώματος | Γρατσουνιές, σκόνες |
| Ανιχνεύσιμο μέγεθος ελαττώματος | 1μm | |
| Ακρίβεια ανίχνευσης (μετρημένη) |
100% ανίχνευση ελαττωμάτων / συλλογή των ελαττώματα (γρατσουνιές, σκόνη) |
|
| Αποτελεσματικότητα ανίχνευσης |
≤10 λεπτά (Μετρημένη τιμή: Μάσκα 350mm x 300mm) |
|
|
Απόδοση οπτικού συστήματος |
Ανάλυση | 1,8μm |
| Μεγέθυνση | 40x | |
| Οπτικό πεδίο | 0,5mm x 0,5mm | |
| Φωτισμός μπλε φωτός | 460nm, 2,5w | |
|
Απόδοση Motion Platform
|
X, Y κίνηση δύο αξόνων Επιπεδότητα πάγκου από μάρμαρο: 2,5μm Ακρίβεια εκκένωσης κατεύθυνσης Z άξονας Υ: ≤ 10,5μm Ακρίβεια εκκένωσης κατεύθυνσης Ζ άξονας Υ: ≤8,5μm |
|
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | ||
Εικόνες ανίχνευσης
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των Διπλωμάτων Ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
