Ανιχνευτής ελαττωμάτων επιφάνειας στη βιομηχανία ημιαγωγών
Εφαρμογές
Για τον έλεγχο της διαδικασίας και τη διαχείριση της απόδοσης της λευκής μάσκας στους τομείς της κατασκευής οθονών ημιαγωγών,
μπορούμε να βοηθήσουμε τους κατασκευαστές γυάλινων υποστρωμάτων, μασκών και πάνελ να εντοπίσουν και να παρακολουθήσουν τα ελαττώματα της μάσκας, να μειώσουν τα
κίνδυνο απόδοσης και να βελτιώσουν την ανεξάρτητη ικανότητα Ε&Α για βασικές τεχνολογίες.
Αρχή λειτουργίας
Πραγματοποιήστε αυτόματο έλεγχο των ελαττωμάτων στην επιφάνεια της μάσκας με μικροσκοπική απεικόνιση εξαιρετικής ανάλυσης και υπερ-
αλγόριθμος ανίχνευσης ελαττωμάτων ανάλυσης.
Χαρακτηριστικά
| Μοντέλο | SDD-SX—X | |
|
Ανίχνευση απόδοσης |
Ανιχνεύσιμος τύπος ελαττώματος | Γρατσουνιές, σκόνες |
| Ανιχνεύσιμο μέγεθος ελαττώματος | 1μm | |
| Ακρίβεια ανίχνευσης (μετρημένη) |
100% ανίχνευση ελαττωμάτων / συλλογή των ελαττώματα (γρατσουνιές, σκόνη) |
|
| Αποτελεσματικότητα ανίχνευσης |
≤10 λεπτά (Μετρημένη τιμή: Μάσκα 350mm x 300mm) |
|
|
Απόδοση οπτικού συστήματος |
Ανάλυση | 1,8μm |
| Μεγέθυνση | 40x | |
| Οπτικό πεδίο | 0,5mm x 0,5mm | |
| Φωτισμός μπλε φωτός | 460nm, 2,5w | |
|
Απόδοση Motion Platform
|
X, Y κίνηση δύο αξόνων Επιπεδότητα πάγκου από μάρμαρο: 2,5μm Ακρίβεια εκκένωσης κατεύθυνσης Z άξονας Υ: ≤ 10,5μm Ακρίβεια εκκένωσης κατεύθυνσης Ζ άξονας Υ: ≤8,5μm |
|
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | ||
Εικόνες ανίχνευσης
Τα Πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση εντός 24 εργάσιμων ωρών.
Η πιστοποίηση ISO μας
Μέρη των Διπλωμάτων Ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και τα προσόντα Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
