Ατομική απόθεση στρώματος ALD
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Υλικός τύπος ALD |
| Συσκευές MEMS | Στρώμα εμποδίων χαρακτικής | Al2Ο3 |
| Προστατευτικό στρώμα | Al2Ο3 | |
| Αντι-συνδέοντας στρώμα | TiO2 | |
| Υδροφοβικό στρώμα | Al2Ο3 | |
| Συνδέοντας στρώμα | Al2Ο3 | |
| Wear-resistant στρώμα | Al2Ο3, TiO2 | |
| Αντι-κοντό στρώμα κυκλωμάτων | Al2Ο3 | |
| Στρώμα διασκεδασμού δαπανών | ZnO: Al | |
| Electroluminescent επίδειξη | Φωτεινό στρώμα | ZnS: ΜΝ/ER |
| Στρώμα παθητικότητας | Al2Ο3 | |
| Υλικά αποθήκευσης | Σιδηροηλεκτρικά υλικά | HfO2 |
| Paramagnetic υλικά | GD2Ο3, ER2Ο3, Dy₂Ο₃, Ho2Ο3 | |
| Non-magnetic σύζευξη | RU, IR | |
| Ηλεκτρόδια | Πολύτιμα μέταλλα | |
| Επαγωγική σύζευξη (ΔΠΣ) | Διηλεκτρικό στρώμα πυλών υψηλός-Κ | HfO2, TiO2, TA2Ο5, ZrO₂ |
| Κρυστάλλινη ηλιακή μπαταρία πυριτίου | Παθητικότητα επιφάνειας | Al2Ο3 |
| Perovskite λεπτή μπαταρία | Στρώμα απομονωτών | ZnxMnyO |
| Διαφανές στρώμα διεύθυνσης | ZnO: Al | |
| τρισδιάστατη συσκευασία | Μέσω-πυρίτιο-Vias (TSVs) | $cu, RU, κασσίτερος |
| Φωτεινή εφαρμογή | Στρώμα παθητικότητας OLED | Al2Ο3 |
| Αισθητήρες | Στρώμα παθητικότητας, υλικά υλικών πληρώσεως | Al2Ο3, SiO2 |
| Ιατρική περίθαλψη | Βιοσυμβατά υλικά | Al2Ο3, TiO2 |
| Στρώμα προστασίας διάβρωσης | Στρώμα προστασίας διάβρωσης επιφάνειας | Al2Ο3 |
| Μπαταρία καυσίμων | Καταλύτης | PT, Pd, RH |
| Μπαταρία λίθιου | Υλικό στρώμα προστασίας ηλεκτροδίων | Al2Ο3 |
| Ανάγνωσες-γραφής κεφάλι σκληρών δίσκων | Στρώμα παθητικότητας | Al2Ο3 |
| Διακοσμητικό επίστρωμα | Χρωματισμένη ταινία, επιμεταλλωμένη ταινία | Al2Ο3, TiO2 |
| Επίστρωμα αντι-αποχρωματισμού | Anti-oxidation πολύτιμων μετάλλων επίστρωμα | Al2Ο3, TiO2 |
| Οπτικές ταινίες | High-low δείκτης διάθλασης |
2 MGF, SiO2, ZnS, TiO2, TA2Ο5, ZrO2, HfO2 |
Αρχή εργασίας
Η ατομική απόθεση στρώματος (ALD) είναι μια μέθοδος τις ουσίες στην επιφάνεια του υποστρώματος
μορφή ενιαίου ατομικού στρώματος ταινιών από το στρώμα. Η ατομική απόθεση στρώματος είναι παρόμοια με την κοινή χημική απόθεση,
αλλά στο στάδιο της ατομικής απόθεσης στρώματος, η χημική αντίδραση ενός νέου στρώματος της ατομικής ταινίας είναι άμεσα
συνδεμένος με το προηγούμενο στρώμα, έτσι ώστε μόνο ένα στρώμα των ατόμων κατατίθεται σε κάθε αντίδραση μ' αυτό τον τρόπο.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα
| Πρότυπο | ALD1200-500 |
| Σύστημα ταινιών επιστρώματος | Al2Ο3, TiO2, ZnO, κ.λπ. |
| Σειρά θερμοκρασίας επιστρώματος | Κανονική θερμοκρασία σε 500℃ (εξατομικεύσιμο) |
| Κενό μέγεθος αιθουσών επιστρώματος | Εσωτερική διάμετρος: 1200mm, ύψος: 500mm (εξατομικεύσιμος) |
| Κενή δομή αιθουσών | Σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη |
| Κενό υποβάθρου | <5> -7mbar |
| Πάχος επιστρώματος | ≥0.15nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ±0.1nm |
| Μέγεθος επιστρώματος | 200×200mm ²/400×400mm ²/1200×1200 χιλ. ², κ.λπ. |
| Ομοιομορφία πάχους ταινιών | ≤±0.5% |
| Αέριο προδρόμων και μεταφορέων |
Trimethylaluminum, τετραχλωρίδιο τιτανίου, διεθυλικός ψευδάργυρος, καθαρό νερό, άζωτο, κ.λπ. (Al Γ ₃ Χ ₉, TiCl4, Γ ₄ HZn, Χ2Ο, Ν₂, κ.λπ.) |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγματα επιστρώματος
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για το επίστρωμα στην κενή αίθουσα
→ Vacuumize η κενή αίθουσα στην υψηλή και χαμηλή θερμοκρασία, και περιστρέφεται το υπόστρωμα συγχρόνως
→ Επίστρωμα έναρξης: το υπόστρωμα έρχεται σε επαφή με με τον πρόδρομο στη σειρά και χωρίς ταυτόχρονη αντίδραση
→ Εκκαθάριση αυτό με το high-purity αέριο αζώτου μετά από κάθε αντίδραση
→ Σταματήστε το υπόστρωμα αφότου είναι το πάχος ταινιών μέχρι τα πρότυπα και τη λειτουργία του εξαγνισμού και
η ψύξη ολοκληρώνεται, κατόπιν παίρνει έξω το υπόστρωμα αφότου ικανοποιούνται οι κενοί σπάζοντας όροι.
Τα πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση μέσα σε 24 ώρες απασχόλησης.
Η πιστοποίηση του ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και προσόντα της Ε&Α
ZEIT ομαδοποιεί, ιδρυμένος το 2018, είναι μια επιχείρηση που στρέφεται στην οπτική ακρίβειας, τα υλικά ημιαγωγών και τους εξοπλισμούς νοημοσύνης υψηλής τεχνολογίας. Με βάση τα πλεονεκτήματά μας στην κατεργασία ακρίβειας του πυρήνα και της οθόνης, οπτικά ανίχνευση και επίστρωμα, η ομάδα ZEIT έχει παράσχει στους πελάτες μας τις πλήρεις συσκευασίες των προσαρμοσμένων και τυποποιημένων λύσεων προϊόντων.
Συγκεντρωμένη στις τεχνολογικές καινοτομίες, η ομάδα ZEIT έχει περισσότερα από 60 εσωτερικά διπλώματα ευρεσιτεχνίας ως το 2022 και τις καθιερωμένες πολύ στενές επιχείρηση-κολλέγιο-ερευνητικές συνεργασίες με τα ιδρύματα, τα πανεπιστήμια και τη βιομηχανική ένωση παγκοσμίως. Μέσω των καινοτομιών, της μόνος-κύριας πνευματικής ιδιοκτησίας και της ενίσχυσης των βασικών πειραματικών ομάδων διαδικασίας, η ομάδα ZEIT έχει γίνει μια βάση ανάπτυξης για την επώαση των προϊόντων υψηλής τεχνολογίας και μια βάση κατάρτισης για το υψηλό σημείο personnels.
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
