Magnetron PVD απόθεση επιμετάλλωσης
Εφαρμογές
| Εφαρμογές | Συγκεκριμένος σκοπός | Υλικός τύπος |
| Ημιαγωγός | Ολοκληρωμένο κύκλωμα, LSI ηλεκτρόδιο, ταινία καλωδίωσης | AI, Al-Si, Al-Si-$cu, $cu, Au, PT, Pd, άργυρος |
| Ηλεκτρόδιο μνήμης VLSI | Mo, W, Tj | |
| Ταινία εμποδίων διάχυσης | MoSix, Wsix, TaSix, TiSx, W, Mo, W-Tj | |
| Συγκολλητική ταινία | PZT (PB-ZrO2-Tj), Tj, W | |
| Επίδειξη | Διαφανής αγώγιμη ταινία | ITO (In2O - SnO2) |
| Ταινία καλωδίωσης ηλεκτροδίων | Mo, W, χρώμιο, TA, Tj, Al, AlTi, AITa | |
| Electroluminescent ταινία |
ZnS-ΜΝ, znS-φυματίωση, CAS-ΕΕ, Υ2Ο3, TA2Ο5, BaTiO3 |
|
| Μαγνητική καταγραφή | Κάθετη μαγνητική ταινία καταγραφής | CoCr |
| Ταινία για το σκληρό δίσκο | CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt | |
| Μαγνητικό κεφάλι λεπτών ταινιών | CoTaZr, CoCrZr | |
| Τεχνητή ταινία κρυστάλλου | Κόπτης, CoPd | |
| Οπτική καταγραφή | Αλλαίδα φάσης ταινία καταγραφής δίσκων | TeSe, SbSe, TeGeSb, κ.λπ. |
| Ταινία καταγραφής μαγνητικών δίσκων |
TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo, TbDyFeCo |
|
| Αντανακλαστική ταινία οπτικών δίσκων | AI, AITi, AlCr, Au, κράμα Au | |
| Ταινία προστασίας οπτικών δίσκων | Si3Ν4, SiO2+ZnS | |
| Perovskite λεπτή μπαταρία | Διαφανές στρώμα διεύθυνσης | ZnO: Al |
| Ιατρική περίθαλψη | Βιοσυμβατά υλικά | Al2Ο3, TiO2 |
| Διακοσμητικό επίστρωμα | Χρωματισμένη ταινία, επιμεταλλωμένη ταινία | Al2Ο3, TiO2, καιόλαταείδηταινιώνμετάλλων |
| Επίστρωμα αντι-αποχρωματισμού | Anti-oxidation πολύτιμων μετάλλων επίστρωμα | Al2Ο3, TiO2 |
| Οπτικές ταινίες | High-low δείκτης διάθλασης | SiO2, TiO2, TA2Ο5, ZrO₂, HfO2 |
| Άλλες εφαρμογές | Με προστασία από το φως ταινία | Χρώμιο, AlSi, AlTi, κ.λπ. |
| Ανθεκτική ταινία | NiCrSi, CrSi, MoTa, κ.λπ. | |
| Υπεραγωγική ταινία | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| Μαγνητική ταινία | Φε, κοβάλτιο, Νι, FeMn, FeNi, κ.λπ. |
Αρχή εργασίας
Magnetron η επιμετάλλωση είναι ένα είδος φυσικής απόθεσης ατμού (PVD). Κάνει τα ηλεκτρόνια να κινηθούν στη σπείρα
πορείες κοντά στην επιφάνεια στόχων από την αλληλεπίδραση μεταξύ των μαγνητικών και ηλεκτρικών πεδίων, αύξηση κατά συνέπεια
πιθανότητα των ηλεκτρονίων που χτυπούν το αέριο αργού για να παραγάγει τα ιόντα. Τα παραγμένα ιόντα χτυπούν έπειτα την επιφάνεια στόχων
στο πλαίσιο της δράσης του ηλεκτρικού πεδίου και ψεκάστε τα υλικά στόχων στη λεπτή ταινία deposite στην επιφάνεια υποστρωμάτων.
Η γενική μέθοδος επιμετάλλωσης μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την προετοιμασία των διάφορων μετάλλων, ημιαγωγοί, σιδηρομαγνητικοί
υλικά, καθώς επίσης και μονωμένα οξείδια, κεραμική και άλλες ουσίες. Η αφή χρήσεων PLC+ εξοπλισμού
σύστημα ελέγχου επιτροπής HMI, που μπορεί να εισαγάγει τις παραμέτρους από την προγραμματίσημη διεπαφή διαδικασίας, με τις λειτουργίες
όπως η ενιαία επιμετάλλωση στόχων, η πολλαπλών στόχων διαδοχικές επιμετάλλωση και η ομο-επιμετάλλωση.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα
| Πρότυπο | MSC700-750-700 |
| Τύπος επιστρώματος | Διάφορες διηλεκτρικές ταινίες όπως η ταινία μετάλλων, το μεταλλικό οξείδιο και AIN |
| Σειρά θερμοκρασίας επιστρώματος | Κανονική θερμοκρασία σε 500℃ (εξατομικεύσιμο) |
| Κενό μέγεθος αιθουσών επιστρώματος | 700mm*750mm*700mm (εξατομικεύσιμος) |
| Κενό υποβάθρου | <5>-7mbar |
| Πάχος επιστρώματος | ≥10nm |
| Ακρίβεια ελέγχου πάχους | ≤±3% |
| Μέγιστο μέγεθος επιστρώματος | ≥100mm (εξατομικεύσιμος) |
| Ομοιομορφία πάχους ταινιών | ≤±0.5% |
| Μεταφορέας υποστρωμάτων | Με τον πλανητικό μηχανισμό περιστροφής |
| Υλικό στόχων | 4x4 ίντσες (συμβατές με 4 ίντσες και κατωτέρω) |
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | Οι παροχές ηλεκτρικού ρεύματος όπως το συνεχές ρεύμα, σφυγμός, RF, ΕΆΝ και προκατειλημμένος είναι προαιρετικός |
| Αέριο διαδικασίας | AR, Ν2, Ο2 |
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | |
Δείγμα επιστρώματος
Βήματα διαδικασίας
→ Τοποθετήστε το υπόστρωμα για το επίστρωμα στην κενή αίθουσα
→ Κατά προσέγγιση
→ Ανοίξτε τη μοριακή αντλία, με τη τοπ ταχύτητα, κατόπιν ανοίξτε την επανάσταση και την περιστροφή
→ Η θέρμανση της κενής αίθουσας μέχρι τη θερμοκρασία φθάνει στο στόχο
→ Εφαρμόστε το σταθερό έλεγχο θερμοκρασίας
→ Καθαρά στοιχεία
→ Περιστραφείτε και πίσω στην προέλευση
→ Ταινία επιστρώματος σύμφωνα με τις απαιτήσεις διαδικασίας
→ Η χαμηλότερη θερμοκρασία και σταματά τη συνέλευση αντλιών μετά από το επίστρωμα
→ Σταματήστε όταν τελειώνουν την αυτόματη λειτουργία.
Τα πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση μέσα σε 24 ώρες απασχόλησης.
Η πιστοποίηση του ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
