Ανιχνευτής ατέλειας υλικής επιφάνειας ημιαγωγών
Εφαρμογές
Για τον έλεγχο διεργασίας και τη διαχείριση παραγωγής της κενής μάσκας στους τομείς της επίδειξης ημιαγωγών και
κατασκευή τσιπ ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, χρησιμοποιούμε τις υψηλές οπτικές εξεταστικές τεχνολογίες ρυθμοαπόδοσης που κάνουν γρήγορα και
ακριβής αυτόματη ανίχνευση για τις ατέλειες επιφάνειας της κενής μάσκας. Σύμφωνα με τις επαγγελματικές ανάγκες των χρηστών,
έχουμε αναπτύξει τη σειρά υψηλών μηχανών επιθεώρησης ΜΑΣΚΩΝ ρυθμοαπόδοσης με την αξιόπιστη ποιότητα και υψηλού κόστους
αναλογία απόδοσης, για να βοηθήσει τους κατασκευαστές υποστρωμάτων, μασκών και επιτροπής γυαλιού για να προσδιορίσει και να ελέγξει τη μάσκα
οι ατέλειες, μειώνουν τον κίνδυνο παραγωγής και βελτιώνουν την ανεξάρτητη δυνατότητα Ε&Α τους για τις βασικές τεχνολογίες.
Αρχή εργασίας
Σε σχέση με το επίπεδο και τον τύπο ατέλειας επιφάνειας, telecentric φακού 4x, συγκεκριμένου φωτός δαχτυλιδιών γωνίας ελαφριού και ομοαξονικού
η πηγή επιλέγεται ως οπτική προσέγγιση. Όταν η συσκευή τρέχει, το δείγμα κινείται κατά μήκος του Χ
η κατεύθυνση και η ενότητα οράματος πραγματοποιούν την ανίχνευση ατέλειας κατά μήκος της κατεύθυνσης Υ.
Χαρακτηριστικά γνωρίσματα
| Πρότυπο | SDD0.5-0.5 | |
|
Ανίχνευση απόδοσης |
Ανιχνεύσιμος τύπος ατέλειας | Γρατσουνιές, σκόνες |
| Ανιχνεύσιμο μέγεθος ατέλειας | 1μm | |
|
Ακρίβεια ανίχνευσης (μετρημένος) |
100% ανίχνευση των ατελειών/συλλογή ατέλειες (γρατσουνιές, σκόνη) |
|
| Αποδοτικότητα ανίχνευσης |
≤10 πρακτικά (Μετρημένη αξία: 350mm X 300mm μάσκα) |
|
|
Απόδοση οπτικών συστημάτων |
Ψήφισμα | 1.8μm |
| Ενίσχυση | 40x | |
| Οπτικό πεδίο | 0.5mm X 0.5mm | |
| Μπλε ελαφρύς φωτισμός | 460nm, 2.5w | |
|
Απόδοση πλατφορμών κινήσεων
|
Χ, κίνηση δύο-άξονα Υ Μαρμάρινη countertop λειότητα: 2.5μm Runout ζ-κατεύθυνσης Υ-άξονα ακρίβεια: ≤ 10.5μm Runout ζ-κατεύθυνσης Υ-άξονα ακρίβεια: ≤8.5μm
|
|
| Σημείωση: Προσαρμοσμένη παραγωγή διαθέσιμη. | ||
Εικόνες ανίχνευσης
Τα πλεονεκτήματά μας
Είμαστε κατασκευαστής.
Ώριμη διαδικασία.
Απάντηση μέσα σε 24 ώρες απασχόλησης.
Η πιστοποίηση του ISO μας
Μέρη των διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας μας
Μέρη των βραβείων μας και προσόντα της Ε&Α
Τα προϊόντα μας πωλούνται σε όλο τον κόσμο. Μπορείτε να είστε σίγουροι για ολόκληρη τη διαδικασία των προϊόντων μας.
